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上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心取得熱處理裝置專利，避免機(jī)械手臂在移出晶圓時與承托邊環(huán)發(fā)生碰撞-熱處理展-工業(yè)爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業(yè)爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int'l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
2024年10月8日 熱處理展-工業(yè)爐展-heat treatment expo-furnace expo |
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金融界2024年10月1日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司取得一項名為“一種熱處理裝置”的專利，授權(quán)公告號CN 221783165 U，申請日期為2023年12月。
專利摘要顯示，本實用新型公開了一種熱處理裝置，包括工藝腔室和傳感器組件；工藝腔室內(nèi)設(shè)置有承托邊環(huán)，承托邊環(huán)用于支撐晶圓；傳感器組件設(shè)置于工藝腔室內(nèi)，傳感器組件包括用于發(fā)射信號的第一傳感器和用于接收第一傳感器發(fā)射信號的第二傳感器；當(dāng)承托邊環(huán)位于第一位置時，承托邊環(huán)遮擋第一傳感器發(fā)射的信號，當(dāng)承托邊環(huán)位于第二位置時，第二傳感器接收第一傳感器發(fā)射的信號；或，當(dāng)承托邊環(huán)位于第一位置時，第二傳感器接收第一傳感器發(fā)射的信號，當(dāng)承托邊環(huán)位于第二位置時，承托邊環(huán)遮擋第一傳感器發(fā)射的信號；承托邊環(huán)的第二位置位于承托邊環(huán)的第一位置的上方。本實用新型提供的熱處理裝置，避免了機(jī)械手臂在移出晶圓時與承托邊環(huán)發(fā)生碰撞。
熱處理展-工業(yè)爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業(yè)爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int''l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
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