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真空熱處理爐是近年來得到較大發展的先進熱處理設備，工件是在超低氣壓的空間里進行加熱和冷卻的。它具有質量好、節能、安全和污染少等優點。
雖然真空爐的發熱體用低壓電，但電源電壓仍為380V，操作時仍需要安全用電。
真空爐制造時，應確保不漏氣、不漏水。真空爐爐體和爐蓋等的密封是用橡膠件，因此需要用水隔層進行冷卻。若水漏到爐膛里時，爐膛溫度很高，會引起爆炸。真空爐處理的工件，應清洗凈表面油污，同時避免淬火油槽的油蒸氣進入爐膛。這些油蒸氣和空氣混合后將形成爆炸氣氛，一旦有明火或通電時就會產生爆炸。所以真空爐裝料后應關閉爐門，將爐膛抽成真空后，方可通電加熱。
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